Ourstex 100FA能量色散型X射线荧光光谱仪的X射线管发射出初级X射线到样品上，通过半导体探测器检测样品激发出的荧光X射线，从而对样品元素进行无损定性和定量分析。半导体探测器采用带电动冷却系统的硅漂移探测器（SDD），无需液氮冷却，结合数字信号处理器（DSP），使得测试结果具有高分辨力。为了提高分析性能，良好的光学激发系统使得半导体探测器达到了很高的能量分辨率和测量灵敏度。